截至6月3日收盘，光刻机概念上涨2.25%，位居概念板块涨幅第7，板块内，32股上涨，华特气体20%涨停，广立微、美迪凯、苏大维格等涨幅居前，分别上涨17.82%、12.86%、11.15%。跌幅居前的有电科数字、中船特气、百傲化学等，分别下跌10.00%、4.86%、3.93%。
今日涨跌幅居前的概念板块
概念今日涨跌幅（%）概念今日涨跌幅（%）培育钻石4.53小红书概念-2.35光纤概念3.86快手概念-2.25铜缆高速连接2.81AI语料-2.09共封装光学(CPO)2.55代糖概念-2.07F5G概念2.41租售同权-1.95太赫兹2.36芬太尼-1.91光刻机2.25华为盘古-1.89电子纸2.22财税数字化-1.80第三代半导体2.12短剧游戏-1.78存储芯片1.89语音技术-1.75资金面上看，今日光刻机概念板块获主力资金净流入15.42亿元，其中，28股获主力资金净流入，7股主力资金净流入超亿元，净流入资金居首的是大族激光，今日主力资金净流入6.61亿元，净流入资金居前的还有华特气体、泰晶科技、腾景科技等，主力资金分别净流入5.02亿元、3.67亿元、1.52亿元。
资金流入比率方面，华特气体、泰晶科技、茂莱光学等流入比率居前，主力资金净流入率分别为18.78%、13.30%、13.08%。（数据宝）
光刻机概念资金流入榜
代码简称今日涨跌幅（%）今日换手率（%） 主力资金流量（万元）主力资金净流入比率（%）002008大族激光2.835.8766065.048.97688268华特气体20.0013.0250243.2818.78603738泰晶科技4.9515.4736670.2313.30688195腾景科技6.126.7015234.355.17003031中瓷电子1.434.0211615.335.78688502茂莱光学2.253.5511035.7413.08688127蓝特光学3.103.2610856.039.63603800洪田股份6.879.548188.355.73300666江丰电子-0.588.227810.482.06688630芯碁微装3.746.266836.652.25301611珂玛科技9.5612.656719.823.76301095广立微17.828.516285.914.29600353旭光电子3.538.286161.443.82300456赛微电子-0.899.745610.082.06688167炬光科技8.237.835484.571.63301128强瑞技术-2.407.394495.743.42300990同飞股份0.898.012273.944.53688307中润光学5.476.822257.093.68688010福光股份0.774.861784.466.18300260新莱应材0.695.101766.462.19301421波长光电1.9314.751725.142.71688605先锋精科3.885.211558.684.03002549凯美特气1.883.21964.802.76688199久日新材0.593.73857.335.49603297永新光学-0.671.70113.900.48301209联合化学-1.461.1892.440.93300786国林科技0.685.0849.870.38600619海立股份-0.541.945.320.02300414中光防雷0.421.60-78.27-1.29300293蓝英装备-0.461.45-84.93-1.00002889东方嘉盛-2.280.95-248.19-8.92301568思泰克2.7414.31-306.94-0.56688376美埃科技-0.301.11-336.44-3.26002816*ST和科-0.961.76-422.66-9.73600889*ST京化-1.601.18-813.29-11.74003043华亚智能2.576.32-1138.28-3.49300809华辰装备0.6012.49-1491.09-2.22688146中船特气-4.8617.96-2216.96-0.46300219鸿利智汇1.716.46-2494.00-6.49688409富创精密2.403.19-2934.47-2.07600895张江高科-0.751.62-4168.82-4.97603360百傲化学-3.933.27-5003.73-11.38301297富乐德0.566.47-5893.83-5.57600850电科数字-10.006.21-8986.29-8.95300331苏大维格11.1514.64-12496.78-6.64688079美迪凯12.8615.62-13004.66-6.93603005晶方科技4.9214.07-21141.43-5.58603773沃格光电-2.6116.14-35317.05-8.13
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